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URS 系列光學(xué)掃描振鏡（正弦共振型）光機(jī)裝置 URS（通用共振掃描振鏡）是一系列共振型光學(xué)掃描振鏡，能提供可重復(fù)、精確的高性能掃描，且對驅(qū)動功率的要求極低。其玻璃反射鏡安裝在**的柔性支撐結(jié)構(gòu)上，并由電磁線圈裝置驅(qū)動，最終形成頻率和振幅恒定的正弦掃描模式。
更新時間：2025-10-27
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