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更新時間：2025-01-21
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長期以來，亞埃級電子顯微分辨率一直局限于像差校正電子顯微鏡，它是理解物質(zhì)的原子結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的有力工具。
近日，美國伊利諾伊大學(xué)香檳分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等，阿貢國家實驗室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等，在Science上發(fā)文，報道了未校正掃描透射電子顯微鏡scanning transmission electron microscope (STEM) 中的電子相干衍射成像，其深亞埃空間分辨率低至0.44埃，超過了像差校正工具的常規(guī)分辨率，并與它們的最高圖像分辨率相媲美。
Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的電子顯微鏡中，獲得低于0.5埃分辨率的圖像。
圖1. 未校正和畸變校正的STEMs中扭曲雙層WSe2的ADF-STEM
圖2. 未校正顯微鏡下扭曲雙層WSe2
圖3. 亞埃分辨率的電子相干衍射模擬
圖4. 利用像差技術(shù)優(yōu)化電子相干衍射探針
在廣泛使用的商業(yè)顯微鏡中，演示了二維轉(zhuǎn)角材料，遠遠超過了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃)。還進一步展示了幾何像差如何為劑量有效的電子成像創(chuàng)造優(yōu)化的結(jié)構(gòu)光束。研究表明，對于深亞埃分辨率，不再需要昂貴的像差校正器。
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日本三豐Mitutoyo FS70 半導(dǎo)體檢測顯微鏡,半導(dǎo)體觀測顯微鏡 ,工作距離足夠長，倍數(shù)高，能夠應(yīng)用在各種檢測場合和質(zhì)量確認方面。搭配Mitutoyo的全系列可見光遠場校正鏡頭，顯微鏡系統(tǒng)的放大倍率可涵蓋20X到8000X，工作距離范圍從6到34mm。對焦目鏡可安裝直徑為25mm的測量分劃板來測量。50/50三端輸出顯微鏡的粗調(diào)范圍為50mm，精確調(diào)整分辨率可達0.1mm，并可同時進行視頻輸出和雙目觀測。
FS70系列半導(dǎo)體檢測顯微鏡單元是一款帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹脂等?？蓱?yīng)用于切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。
通用參數(shù)
特點
采用Mitutoyo遠場校正鏡頭
三端輸出設(shè)計可輕松接收視頻
轉(zhuǎn)盤可接最多四個物鏡
應(yīng)用：
切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標記
薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯誤)。
還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。
• 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。
應(yīng)用：晶體硅的內(nèi)部觀察；紅外光譜特征分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機。
• 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標準配件。
• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。
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參考文獻： 中國光學(xué)期刊網(wǎng)
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